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干式真空泵的发展趋势

时间: 2019-05-24

干式真空泵是未来工业发展的趋势。虽然目前还没有使用,但除了价格高外,还有一些企业看不到干真空泵用户缺乏带来的经济效益。本文着重介绍了如何优化干式真空泵的选型。


   有了这些不同类型的干式真空泵,我们一直渴望减小它们的物理尺寸。但是,这与真空泵的抽速不一致,因为真空泵的抽速与真空泵的容积成正比。体积小意味着体积小。当然,影响真空泵抽速的另一个重要因素是速度。为了使小真空泵的吸入速度与大真空泵的吸入速度一致,必须提高吸入速度。有两种方法可以改变真空泵的速度,一种是改变电源的频率,甚至使用变频器;另一种是改变齿轮箱的传动比。其中,使用变频器的优点是可以提供闭环控制,但在重载时容易造成转矩损失。改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法,当然它只能提供一个无法控制的单速。


现在,您可以看到干真空泵有很多不同的设计,每种设计都有自己的特点、优点和缺点。历史上,使用成本一直是影响人们选择真空泵的一个重要因素。越来越多的真空泵用户认识到,真空泵的稳定性也应予以考虑。因为真空泵的意外错误会降低机器的效率,影响晶片的生产和输送,甚至造成晶片废料等零件的加工损坏。由于螺杆设计采用单级设计,与多级泵(如球缝、爪和总成)相比,使用的零件数量可减少60%。这对于稳定性和未来的维护成本是一个很大的优势。


总的来说,如果用户认为功耗对他很重要,那么选择内压螺杆可能是一个不错的选择,氮含量对他来说并不重要。然而,一般来说,对尾气处理的要求越来越严格,因此减少未来使用的氮气量尤为重要。如果你想在不改变各种半导体工艺的情况下用一个简单的库存控制泵来处理这些工艺,那么外螺纹拧紧是一个不错的选择。


根据实际情况,上述所有设计类型的优点结合在一起是一个理想的选择,但这是不可能的。因此,用户需要知道有许多不同类型的干泵设计,然后根据自己的工艺特点来了解不同类型泵设计的影响。


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